Dünnschichten finden zahlreiche praktische Anwendungen in verschiedenen Bereichen wie Optik, Elektronik, Sensoren und Mechanik. Daher ist es absolut notwendig geworden, die Mechanismen des Dünnschichtwachstums für die Herstellung dieser Geräte genau zu kennen und zu verstehen.

Dies ist das Ziel dieser Arbeit, die in einem Manuskript vorgestellt wird, das in vier Kapitel gegliedert ist. Im ersten Kapitel werden einige Begriffe zur Struktur von Oberflächen vorgestellt und anschließend einige Arten von Oberflächen beschrieben.

Im zweiten Kapitel geben wir einen recht allgemeinen Überblick über die Behandlung von Substraten. Im dritten Kapitel stellen wir die verschiedenen Schritte der Probenvorbereitung vor der Abscheidung von Dünnschichten vor.

In diesem Abschnitt stellen wir auch die verschiedenen Techniken zur Abscheidung von Dünnschichten sowie ihre Anwendungen, Vor- und Nachteile vor. Die Techniken zur Charakterisierung (Struktur, chemische Zusammensetzung, optische Eigenschaften, elektrische und mechanische Eigenschaften) sind Gegenstand des vierten Kapitels.

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